目前，MEMS传感器技术研发主要在以下几个方向(1)微型化的同时降低功耗(2)提高精度(3)实现MEMS传感器的集成化及智慧化(4)开发与光学生物学等技术领域交叉融合的新型传感器，如MOMES传感器(与微光学结合)生物化学传感器(与生物技术电化学结合)以及纳米传感器(与纳米技术结合)
目前，MEMS传感器技术研发主要在以下几个方向(1)微型化的同时降低功耗(2)提高精度(3)实现MEMS传感器的集成化及智慧化(4)开发与光学生物学等技术领域交叉融合的新型传感器，...
目前，MEMS传感器技术研发主要在以下几个方向(1)微型化的...
